Система для скрайбирования полупроводниковых структур

Характеристики проекта

Заказать услугу

Характеристики

Параметр

Значение
Лазерный источник

DPSS лазер 355 нм, <20 нс @49 кГц, 3 Вт, 70 мкДж
Система вибрационной изоляции

пневматическая
Гранитный портал
Система позиционирования

XYZ с диапазоном перемещения 300 мм и абсолютной точностью +/- 1 мкм
Система пылеудаления
Вакуумный прижим образцов
Индивидуальная разработка программного обеспечения